SMC常閉型高真空電磁閥 XSA 
●追加內(nèi)螺紋型（Rc, NPT） [New]
●低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
●漏電量：內(nèi)部1.3×10-9Pa·m3/s，外部1.3×10-11Pa·m3/s
●備有2種接頭
●消耗電力：大削減25%
●質(zhì)量：削減18% 0.5kg→0.41kg

作用編輯
1.開關(guān)氣路，當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開時(shí)，機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路；當(dāng)閥2關(guān)閉，閥4打開時(shí)，機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真空；當(dāng)閥1和閥4同時(shí)打開時(shí)，擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時(shí)工作，對(duì)容器進(jìn)行抽空，此時(shí)氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng)路線。

2.控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大小；關(guān)閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
3.定量充氣，在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞，當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時(shí)，小洞中就可充滿高壓氣體；當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時(shí)，就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。

SMC常閉型高真空電磁閥 XSA